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压阻式压力变送器的原理

更新时间  2021-10-08
压阻变送器。
单晶体硅压差式变送器是用来测量液体、气体或蒸气的液面、密度、压力,再转换为4~20mA,Hart电流信号输出,也可以通过它们与HART-375或BST、Modem互相通信,通过它们设定参数,过程控制。采用纳米单晶硅片作为传感材料,使其不同于传统的电接压力计。传感模组采用全焊接技术,内部设有整体过载隔膜、压力传感器和温度传感器。可作为温度补偿的参照物。其正压侧连接于感应器膜盒的高压腔体,该感应器负压侧与感应器箱体的低压腔相连,透过隔膜及填充液将压力传至感应器内部硅片,使压力感应器芯片的阻值发生改变,使检测器输出电压发生变化。其输出电压与压力的变化成正比,再通过适配单元及放大器转换为一标准信号输出。
单晶体硅压力传感器的工作原理。
压阻压力传感器是由单晶硅的压阻效应组成。用单晶硅片作为弹性元件,采用集成技术,在单晶硅薄膜上以特定方向扩散一组等阻抗。然后把电阻接通到桥路,单晶硅放入感应器内部。单晶硅在压力改变时会产生应变,使得直接扩散到上方的应变电阻产生与被测压力成正比的变化,然后由桥接电路得到相应的输出信号。